LTCC基板用CaBSi玻璃的制备与性能研究

• 作者: 周晓华 宁海燕 张树人
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 CaO-B2O3-SiO2玻璃 低温共烧 sol-gel法
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 字数: 2533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.12.019

摘要

采用sol-gel法制备了CaO-B2O3-SiO2玻璃粉体材料.用TGA-DSC、XRD、SEM对样品进行了表征.分析表明,当钙含量不变时,随着硼含量的增加熔点降低,但是超过一定值后,其性能恶化.当硼含量不变时,随着钙含量的增加玻璃料的析晶趋势增强,熔点升高,热膨胀系数的测试值也接近理论计算值.将CaBSi-3与堇青石和莫来石陶瓷粉末低温共烧后其主要性能指标为:α≈ 3.5×10-6℃-1,εr＜4.9,tan δ＜14×10-4,ρ＞1013 Ω·cm,σ＞ 160 Mpa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
2	周晓华	电子科技大学微电子与固体电子学院	70	468	11.0	17.0
3	宁海燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	9	1.0	2.0