LTCC基板材料耐酸蚀性能研究

• 作者: 万欢欢 刘卓峰 张为军 汪丰麟 陈兴宇
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 基板 微晶玻璃 陶瓷 化学镀 腐蚀
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: TM215.7
• 字数: 3696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.11.011

摘要

为适应化学镀工艺实现低成本制备,LTCC基板材料要求具备一定的耐酸性镀液腐蚀能力.本文研究了CaO-B2 O3-SiO2、BaO-Al2 O3-SiO2/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2 O3四种LTCC基板材料在HNO3、HCl和H2 SO4溶液中的耐酸蚀性能.采用XRD、EDS、SEM、ICP等技术分析了腐蚀后基板的形貌和成分.结果显示基板在强酸溶液的腐蚀下均出现不同程度的孔洞缺陷,腐蚀程度随H+浓度的升高而升高.酸根离子种类对基板的腐蚀影响不大.腐蚀机理主要是基板材料的主晶相与H+的化学反应导致的成分溶蚀.钡长石、 硅灰石与H+反应,因此CaO-B2 O3-SiO2、BaO-Al2 O3-SiO2/Al2 O3耐腐蚀性能较差;而锂辉石、Al2 O3不与酸发生反应,硼硅酸盐玻璃/锂辉石/Al2 O3、 硼硅酸盐玻璃/堇青石/Al2 O3耐腐蚀性能较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张为军	国防科技大学空天科学学院	51	571	14.0	22.0
2	刘卓峰	国防科技大学空天科学学院	10	161	6.0	10.0
3	陈兴宇	国防科技大学空天科学学院	5	37	3.0	5.0
4	汪丰麟	国防科技大学空天科学学院	2	1	1.0	1.0
5	万欢欢	国防科技大学空天科学学院	1	1	1.0	1.0