硅基螺旋电感的几何参数设计和优化

• 作者: 姚飞 成步文 王启明 薛春来
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基 螺旋电感 品质因子 自振荡频率
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 769-773
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 1439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.05.002

摘要

使用三维电磁场模拟的方法对相同硅衬底结构下不同布图结构的螺旋电感进行了模拟和分析.通过改变电感匝数、电感金属的宽度和间隔以及电感的内径,模拟和分析了电感性能的变化.给出了引起电感性能变化的原因.结果表明优化电感的几何参数可以有效地改善电感性能.得出了一些实用的设计原则,可有效地指导射频集成电路中集成电感的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	118	735	14.0	20.0
2	成步文	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	41	185	8.0	10.0
3	姚飞	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	16	70	6.0	7.0
4	薛春来	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	24	77	6.0	7.0