亚波长设计中的可制造性验证方法

• 作者: 严晓浪 王国雄
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可制造性验证 分辨率提高技术 光学邻近校正
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 819-823
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.05.011

摘要

描述了一种采用分辨率提高技术后用于可制造性设计的验证方法.该方法的目的是验证设计功能与设计目的是否一致,更精确地说,使刻印出来的图像与设计一致.还描述了这种基于模型的验证方法的过程建模,实例说明这种方法的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王国雄	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	20	98	6.0	9.0
2	严晓浪	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	246	1634	19.0	29.0