相变式自检测压力传感器

• 作者: 刘晓为 尹亮 汤小川 王喜莲 霍明学
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相变热驱动 自检测 压力传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 937-943
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 5003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.05.033

摘要

提出一种新型压力传感器自检测方法--相变热驱动法.在压力传感器的密封腔中填充相变物质,利用相变物质气化后所产生的巨大压力实现自检测功能.通过控制压力腔中相变物质的填充量与加热电阻的加热功率,可以实现不同量程压力传感器的自检测.基于相变热驱动法研制了一种单晶硅大量程自检测压力传感器,传感器为硅-玻璃-硅三层结构,通过静电键合与热键合技术制备.测试结果显示,自检测电压输出为满量程输出的6.8%,综合精度高于2.1‰.