氩气压强对PET基磁控溅射银膜结构及导电性能的影响

• 作者: 洪剑寒 王鸿博 魏取福
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 磁控溅射 薄膜 原子力显微镜 纳米结构 导电性能
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 纳米薄膜制备与应用
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: TM2|O6
• 字数: 2201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.z2.025

摘要

在室温条件下,采用磁控溅射法在PET纺粘非织造布上制备了纳米Ag薄膜,用原子力显微镜(AFM)表征磁控溅射真空室压强对纳米Ag薄膜结晶状态、粒径的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能之间的关系.实验结果表明:在该实验范围内溅射速率随压强的增大先增大后减小;薄膜方块电阻的变化规律与溅射速率的变化规律一致;薄膜颗粒直径随压强的增大先增大后减小,但在压强大于1.5Pa时,薄膜颗粒直径随压强变化未呈现明显的变化规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏取福	江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室	184	913	16.0	21.0
2	王鸿博	江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室	207	1107	15.0	21.0
3	洪剑寒	江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室	6	101	5.0	6.0