湿法和干法刻蚀相结合提高微细线条的刻蚀精度

• 作者: 方洁 汪涛 赵兹君
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法腐蚀 干法刻蚀 微细线条 腐蚀精度
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TN405.98
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪涛		13	18	2.0	4.0
2	方洁		3	0	0.0	0.0
3	赵兹君		3	0	0.0	0.0