电子束蒸发制备CuAlO2透明导电膜及光学性质

• 作者: 何阿玲 冯庆 刘高斌 杨晓红 王新强 赵兴强 马勇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电膜 p型 CuAlO2 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1941-1943
• 页数: 3页
• 分类号: O472|TN304.05
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2007.12.005

摘要

利用烧结的CuAlO2靶材运用电子束蒸发法沉积了p型CuAlO2薄膜样品.在空气中1000℃退火之后,薄膜样品出现了(006)定向结晶,且铜铝原子比满足化学计量.CuAlO2薄膜呈现了很好的透明性,500nm厚的薄膜样品在可见光范围透射率超过了80%.利用光谱分析,CuAlO2薄膜的光学禁带约为3.80eV,其平均折射率约为1.54,同其它方法制备的该薄膜的性能相近.薄膜样品室温电导率约为0.08S/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马勇	重庆师范大学物理系	52	378	11.0	17.0
2	王新强	重庆大学物理系	46	305	11.0	12.0
3	何阿玲	重庆大学物理系	6	44	4.0	6.0
4	刘高斌	重庆大学物理系	37	310	12.0	15.0
5	冯庆	重庆大学物理系	16	184	9.0	13.0
7	杨晓红	重庆大学物理系	4	36	3.0	4.0
11	赵兴强	重庆大学物理系	9	151	7.0	9.0