气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

• 作者: 李晋闽 董志远 赵有文 魏学成
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气相传输法 ZnO单晶 动力学 生长机理
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 869-872
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.06.010

摘要

研究了化学气相传输法(CVT)生长ZnO单晶的传输过程、动力学和生长机理,分析了CVT法的传输机理、效率以及温场对传输速率和晶体生长的影响.利用气相-固相单晶成核和生长动力学理论研究了制约单晶生长速度和晶体质量的因素.我们得到的不同条件下ZnO单晶CVT生长的实验结果和现象与理论分析一致,获得了ZnO单晶生长的理想条件和高质量的大尺寸ZnO单晶材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晋闽	中国科学院半导体研究所	75	652	13.0	23.0
2	赵有文	中国科学院半导体研究所	42	217	7.0	11.0
3	董志远	中国科学院半导体研究所	25	154	7.0	11.0
4	魏学成	中国科学院半导体研究所	8	83	5.0	8.0