化学气相传输法生长ZnO单晶

• 作者: 李晋闽 段满龙 董志远 赵有文 魏学成
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 化学气相传输 单晶生长
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 336-339
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.02.026

摘要

利用化学气相传输法生长了ZnO单晶.通过控制源区和生长端的温度梯度,使用碳辅助增强质量传输效应,在无籽晶自发成核的条件下,得到了晶粒尺寸达5mm×8mm的ZnO晶体.利用长有GaN层的蓝宝石晶片作为籽晶,得到了直径32mm、厚4mm左右的ZnO单晶体.用光致发光谱和X射线双晶衍射研究了ZnO晶体的性质并对生长的热力学过程和现象进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晋闽	中国科学院半导体研究所	75	652	13.0	23.0
2	赵有文	中国科学院半导体研究所	42	217	7.0	11.0
3	董志远	中国科学院半导体研究所	25	154	7.0	11.0
4	段满龙	中国科学院半导体研究所	11	95	5.0	9.0
5	魏学成	中国科学院半导体研究所	8	83	5.0	8.0