粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件

• 作者: 周晨 周磊 洪德斌 裘南畹 邢建平
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 粉末溅射 薄膜 双点焊
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报道
• 页码范围: 111-114
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 1677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3961.2007.01.026

摘要

针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%CeO2薄膜,利用衬底A12O3与ZnO晶体均为六方结构的特点,选择适当溅射参数研制出薄膜气敏元件,同时通过悬挂芯片双点焊工艺,使元件更加小型化.长期检测结果表明,此类元件气敏特性和稳定性良好,适合进一步推广应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢建平	山东大学信息科学与工程学院	42	177	6.0	11.0
2	裘南畹	山东大学物理与微电子学院	23	36	3.0	4.0
3	周晨	山东大学信息科学与工程学院	10	40	3.0	6.0
4	周磊	山东大学信息科学与工程学院	13	62	4.0	7.0
5	洪德斌	山东大学信息科学与工程学院	2	1	1.0	1.0