真空室内金属杂质污染对光学薄膜性能的影响

• 作者: 凌波 刘世杰 范正修 袁磊 贺洪波 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 真空材料 杂质污染 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 988-991
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.07.019

摘要

真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素.采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析.发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺人金属杂质,导致薄膜激光破坏阈值降低.采用表面分析技术对薄膜的组分进行分析,证实薄膜中锌杂质的存在.激光破坏实验证明,含有锌杂质的薄膜的破坏阈值明显降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	贺洪波	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	491	16.0	19.0
4	袁磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	57	5.0	7.0
5	凌波	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	23	3.0	3.0
6	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	104	5.0	9.0