PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析

• 作者: 于军 彭刚 杨卫明 王耘波 贺鳞翔 郑朝丹
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 固相反应 烧结 钙钛矿相 焦绿石相
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 711-716
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.82
• 字数: 3525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.05.016

摘要

采用固相反应法制备了一系列PZT陶瓷靶材,并用XRD对其进行了相成分分析.结果表明,PbO的富足可以大大抑制PbZrO3的分解,还可以抑制焦绿石相的产生,起到稳定钙钛矿相的作用.然而,过量的PbO会使材料局部区域的相成分发生波动,故而破坏相成分的一致性.此外,对单块的PZT样品进行烧结还会出现陶瓷分层现象,将多块样品放在一起烧结或采用先进的烧结工艺有利于抑制分层.