UV-LIGA制作微细群电极工艺研究

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 金属基底 UV-LIGA工艺 SU-8胶 高深宽比 微细群电极
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 29-31,35
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2494字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2008.01.009

摘要

微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率.研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术.以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬		54	480	14.0	18.0
3	明平美		39	222	9.0	13.0
4	胡洋洋		16	221	9.0	14.0