大面积金刚石薄膜沉积系统的研究

• 作者: 常明 曲长庆 沈锋英 陈发亮 陈琦
• 来源期刊: 天津理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 大面积 HFCVD 系统设计 热丝架
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 21-23,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 1640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2008.01.007

摘要

介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220 mm,膜沉积速率为1～2 μm/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常明	天津理工大学电子信息与通信工程学院	27	173	8.0	11.0
2	曲长庆	天津理工大学电子信息与通信工程学院	6	18	3.0	4.0
3	沈锋英	天津理工大学电子信息与通信工程学院	6	25	3.0	5.0
4	陈琦	天津理工大学电子信息与通信工程学院	2	9	1.0	2.0
5	陈发亮	天津理工大学电子信息与通信工程学院	2	9	1.0	2.0