衬底对原位氧化制备的ZnO薄膜结构和光学性质的影响

• 作者: 付玉军 张军 谢二庆 谢毅柱 邵乐喜
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 Zn3N2薄膜 原位氧化 光致发光 衬底
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 657-660
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3338字
• 语种: 中文

摘要

采用射频反应溅射法在不同衬底上制备Zn3N2薄膜,然后对其原位氧化制备ZnO薄膜.利用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)等表征技术研究了不同衬底对ZnO薄膜的结晶特性和发光性能的影响.XRD研究结果显示:Zn3N2薄膜在500 ℃原位氧化3 h后完全转变为ZnO薄膜,在玻璃和熔融石英衬底上制备的多晶ZnO薄膜无择优取向,而单晶硅(100)衬底上的多晶ZnO薄膜具有较好的沿(002)方向的择优取向.PL测试结果显示:硅和熔融石英衬底上的多晶ZnO薄膜发光性能良好,激子复合产生的紫外发光峰很强,且半高宽较窄,而来自于深能级发射的绿色发光峰很弱;而玻璃衬底上的多晶ZnO薄膜发光性能较差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	张军	湛江师范学院物理科学与技术学院	65	414	11.0	18.0
6	谢毅柱	湛江师范学院物理科学与技术学院	2	14	2.0	2.0
10	邵乐喜	湛江师范学院物理科学与技术学院	22	106	6.0	9.0
11	付玉军	兰州大学物理科学与技术学院	8	51	4.0	7.0