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摘要:
利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO薄膜,将能量56keV、剂量1×10^17cm^-2的Zn离子注入到薄膜中,离子注入后,薄膜在500-900℃的氩气中退火,利用X射线射谱、光致发光谱和光吸收谱研究了离子注入和退火对ZnO薄膜结构和光学性质的影响.结果显示:衍射峰在约700℃退火后得到恢复;当退火温度小于600℃时,吸收边随着退火温度的提高发生蓝移,
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文献信息
篇名 电子物理学:Zn离子注入和退火对ZnO薄膜光学性能的影响
来源期刊 中国学术期刊文摘 学科 工学
关键词 ZnO薄膜 离子注入 退火温度 吸收 光致发光
年,卷(期) 2008,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 39
页数 1页 分类号 TN304.21|TN304.18
字数 语种 中文
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ZnO薄膜
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退火温度
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光致发光
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中国学术期刊文摘
半月刊
1005-8923
11-3501/N
北京市海淀区学院南路86号
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