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MEMS微电子机械系统与流程工业自动化
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摘要：
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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
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期刊影响力
中国仪器仪表
主办单位：
机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
中国仪器仪表行业协会
出版周期：
月刊
ISSN：
1005-2852
CN：
11-3359/TH
开本：
大16开
出版地：
北京市广安门外大街甲397号216室
邮发代号：
82-11
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
4344
总下载数（次）
6
总被引数（次）
12407
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