93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究

• 作者: 石坚 贺志容 韩红星
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 校准基准 内部参考源 中间参量 系统参量
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2009.03.016

摘要

介绍了93k集成电路测试系统校准原理与实现方法,讨论了校准过程中的量值传递关系;以HPP-MU为例,给出了量值传递的实现过程,并分析了93k校准原理与方法在确保量值准确、一致性上的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩红星		6	14	2.0	3.0
2	石坚		8	17	3.0	3.0
3	贺志容		5	19	2.0	4.0