不同衬底上ZnO薄膜的射频磁控溅射制备及结构

• 作者: 傅强 彭堂超
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 物理学
• 关键词: ZNO 薄膜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 51-52
• 页数: 2页
• 分类号: O484.1

摘要

利用射频磁控溅射镀膜的方法，在c面蓝宝石、石英玻璃和载破片衬底上成功制备了ZnO薄膜。用x射线衍射和扫描电子显微镜进行了结构分析并观察了样品的表面形貌。结果表明：制备的ZnO薄膜具有良好的C轴择优取向结晶度，并在石英玻璃和载玻片衬底上的ZnO薄膜表面发现了[101]取向的“米粒状”晶粒。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅强	武汉大学物理科学与技术学院	16	98	5.0	9.0
2	彭堂超	武汉大学物理科学与技术学院	3	0	0.0	0.0