学习MEMS微电子机械系统,促进流程工业自动化发展

• 作者: 卞正岗
• 来源期刊: 自动化博览
• 学科: 工学
• 关键词: 智能微系统 LIGA加工技术 压力变送器 现场总线 无线变送器
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 4917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0492.2009.04.005

摘要

本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卞正岗		65	66	5.0	7.0