淀积在不同小倾角蓝宝石衬底的n型GaN的研究

• 作者: 李建军 沈光地 邓军 邢艳辉 韩军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属有机物化学淀积 氮化物 原子力显微镜 光致发光
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2644-2648
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.080

摘要

采用金属有机物化学淀积技术在不同倾角(0°-0.3°)的蓝宝石衬底上外延n型GaN.通过原子力显微镜观察到n型GaN均呈台阶流生长模式,0.2°和0.3°倾角衬底的n型GaN表面台阶朝向相同、分布均匀,明显地看到在0°倾角衬底的n型GaN表面由台阶重构直接导致的台阶朝向随机分布、疏密不匀的形貌.电子背散射分析表明,在0°倾角衬底的n型GaN外延层的应力随外延厚度增加而增加,而0.2°和0.3°倾角衬底的n型GaN外延层的应力没有明显的变化.电学和光学特性研究表明,0.2°和0.3°倾角衬底的n型GaN有较高的电子浓度和较低的黄光带与近带边强度之比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地	北京工业大学电子信息与控制工程学院	192	1444	18.0	29.0
2	邓军	北京工业大学电子信息与控制工程学院	57	219	7.0	10.0
3	韩军	北京工业大学电子信息与控制工程学院	39	181	7.0	11.0
4	李建军	北京工业大学电子信息与控制工程学院	52	234	7.0	12.0
5	邢艳辉	北京工业大学电子信息与控制工程学院	20	59	5.0	6.0