射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜

• 作者: 付刚 季艳菊 李爽 王凤翔 赵俊卿
• 来源期刊: 山东建筑大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 射频磁控溅射 光波导 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2127字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-7644.2010.01.003

摘要

采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD)、背散射分析(RBS)、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究,结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量,增强薄膜的c轴择优取向.溅射压强越小,薄膜越厚,薄膜的有效折射率越接近晶体材料的折射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凤翔	山东建筑大学理学院	16	48	4.0	5.0
2	付刚	山东建筑大学理学院	12	40	3.0	5.0
3	李爽	山东建筑大学理学院	3	29	3.0	3.0
4	赵俊卿	山东建筑大学理学院	23	99	6.0	9.0
5	季艳菊	山东建筑大学理学院	2	19	1.0	2.0