掺银ITO薄膜退火前后的性能比较

• 作者: 孙兆奇 曹春斌 郭守月
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO薄膜 Ag掺杂 退火 晶格常数 透射率
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 291-294
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1665字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射方法在室温下制备厚度为130 nm的ITO和Ag-ITO薄膜,并在大气环境中不同温度下退火1 h,测试其XRD谱和近紫外-可见光透射谱. 利用(211)和(222)衍射峰求得两种薄膜的晶格常数,并分析了掺Ag和退火对ITO薄膜晶格常数、结晶度和透射率的影响. 结果表明: 晶格常数随退火温度的升高而减小,且掺Ag后晶格进一步收缩;两种薄膜经高温退火后在可见光段具有相近的透射率,未退火和低温退火的Ag-ITO薄膜透射率明显低于相同条件处理的ITO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙兆奇	安徽大学物理与材料科学学院	91	563	11.0	16.0
2	曹春斌	安徽农业大学理学院	14	85	4.0	9.0
4	郭守月	安徽农业大学理学院	28	71	5.0	7.0