硅片边缘超声振动辅助化学机械抛光实验

• 作者: 刘仁鑫 吴勇波 杨卫平
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片边缘 超声椭圆振动 复合抛光
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 221-226
• 页数: 6页
• 分类号: TH16|TN305.2
• 字数: 4300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2010.02.044

摘要

提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究.结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振动对抛光效果的改善作用最佳.抛光工具加入超声椭圆运动后,工件表面粗糙度值Ra由传统抛光法的0.059 μm降低到0.043 μm,材料去除量增加22%,且抛光表面形貌有明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仁鑫	江西农业大学工学院	49	127	6.0	8.0
2	杨卫平	江西农业大学工学院	23	68	5.0	7.0