快速热处理对电子辐照直拉硅中氧沉淀的影响

• 作者: 李养贤 蔡莉莉 陈贵锋
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅单晶 电子辐照 氧沉淀 快速热处理 清洁区
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 196-200
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文

摘要

对n型[111]晶向直拉硅样品进行电子辐照,然后分别在不同温度和降温速率下快速热处理(rapid thermal process,RTP),再在1 100 ℃下进行常规一步退火.研究了RTP温度和降温速率对硅样品内氧沉淀的变化及样品表面清洁区形成的影响.结果表明:经过RTP再经高温一步退火后,硅晶体内形成了密度较高的氧化诱生层错以及完整的位错环,样品表面形成了一定宽度的清洁区;清洁区的宽度随RTP温度及降温速率的升高而变窄.当RTP温度达到1 280 ℃时,样品中的层错和位错环明显减少,此时当RTP降温速率增加至150 ℃/s时,大部分层错消失,样品中出现了大量的点状腐蚀坑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈贵锋	河北工业大学材料学院信息功能材料研究所	22	59	5.0	6.0
2	李养贤	河北工业大学材料学院信息功能材料研究所	51	362	12.0	17.0
3	蔡莉莉	华北科技学院基础部物理教研室	16	64	4.0	7.0