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摘要:
主要研究了硬盘磁头滑块二级台阶的刻蚀实验.首先研究了ICP刻蚀的刻蚀原理,然后根据二级台阶掩模版的设计要求,设计出掩膜版的图形,并通过ICP刻蚀机加工出磁头滑块.结果表明所提出的二级台阶的刻蚀工艺是合理的,且具有普遍性.
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内容分析
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文献信息
篇名 ICP刻蚀中的二级台阶刻蚀研究
来源期刊 科技信息 学科 工学
关键词 ICP刻蚀 二级台阶 掩膜版 磁头滑块
年,卷(期) 2010,(15) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 451-452
页数 分类号 TN3
字数 1555字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-9960.2010.15.351
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 谭晓兰 北方工业大学机电工程学院 38 251 8.0 15.0
2 乔宁 北方工业大学机电工程学院 2 3 1.0 1.0
3 张宏坤 北方工业大学机电工程学院 2 3 1.0 1.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
ICP刻蚀
二级台阶
掩膜版
磁头滑块
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技信息
旬刊
1001-9960
37-1021/N
大16开
山东省济南市
24-72
1984
chi
出版文献量(篇)
124239
总下载数(次)
249
总被引数(次)
255660
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