微阵列制备机器人分向前馈误差补偿控制

• 来源期刊: 清华大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 微阵列制备机器人 定位精度 分向补偿 前馈误差补偿 回程误差
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 科技简讯
• 页码范围: 582-586
• 页数: 5页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文

摘要

为了提高半闭环微阵列制备机器人的定位精度,根据机器人运动误差具有方向性的特点,提出了分向前馈误差补偿技术。建立了微阵列制备机器人系统误差前馈补偿的传递函数模型,对系统的准确性、快速性与稳定性进行分析,从理论上证明该方法在提高机器人精度方面是可行有效的。研究并实施了回程误差与其他非线性误差的分向补偿算法。在清华大学开发的THU-biorobot微阵列制备机器人上进行了实验研究。结果表明：补偿后机器人的定位精度在±5μm以内,系统动态性能也有显著提高,能够满足微阵列制备要求。