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氧化特性
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二氧化硅
Ti掺杂6H-SiC电学性质研究
物理气相传输
Ti掺杂
6H-SiC
电阻率
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Lattice Damage of 6H-SiC Implanted with Multiple-energy Xe Ions
来源期刊 中国科学院近代物理研究所和兰州重离子研究装置年报:英文版 学科 工学
关键词 离子注入 6H-SIC 晶格损伤 能量 应用程序 机械性能 核反应堆 电子器件
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 109-110
页数 2页 分类号 TN305.3
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离子注入
6H-SIC
晶格损伤
能量
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核反应堆
电子器件
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中国科学院近代物理研究所和兰州重离子研究装置年报:英文版
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兰州市城关区南昌路509号
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