退火温度对BZT薄膜微结构的影响研究

• 作者: 刘行冰 周妮妮 张玉芹 邓小玲 郭冬娇
• 来源期刊: 重庆科技学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 BZT薄膜 退火温度：微结构
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 机械·建筑·材料
• 页码范围: 123-124
• 分类号: TN623
• 字数: 1010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1980.2011.01.039

摘要

采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其他物相存在.光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘行冰		5	14	3.0	3.0
2	邓小玲		36	175	8.0	12.0
3	郭冬娇		3	3	1.0	1.0
4	张玉芹		3	5	1.0	2.0
5	周妮妮		2	13	1.0	2.0