SAW器件用金刚石膜的制备工艺研究

• 作者: 冉均国 李德贵 苟立
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 生长速率 微波等离子体化学气相沉积 声表面波器件
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 13-16
• 分类号: TB43
• 字数: 3829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.09.004

摘要

针对声表面波( SAW)器件对金刚石膜的要求,采用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,研究了不同气体体系对金刚石膜生长速率、电阻率、表面形貌、表层C化合态及相对含量(粒子数分数Xc)的影响.结果表明:在H2-CH3COCH3、CH4-H2-Ar和CH4-H2-N2三种气体体系下,金刚石膜的生长速率分别达0.63,0.59和0.58μm/h,较常规CH4-H2体系提高了1倍左右,且金刚石膜电阻率高(1010 Ω·cm)、晶型好、晶粒尺寸小、表层金刚石C-C键相对含量高(Xc＞80％).氧、氩和氮对提高金刚石膜的生长速率和质量效果显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德贵	四川大学材料科学与工程学院	7	10	2.0	3.0
3	苟立	四川大学材料科学与工程学院	100	858	13.0	25.0
4	冉均国	四川大学材料科学与工程学院	130	1122	16.0	28.0