溅射氩气压强对AZO薄膜光电性能的影响

• 作者: 傅刚 刘志宇 王坤
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 溅射 氩气压强 电阻率 透过率
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 42-43
• 分类号: O484
• 字数: 1718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-098X.2011.06.035

摘要

采用磁控溅射方法在玻璃村底上制备出了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了溅射过程中不同置气压强对薄膜光学、电学和微结构等方面性能的影响.XRD测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0.3Pa时AZO薄膜的电阻率降至2.77×10-3Ωcm,可见光平均透过率为93%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学物理与电子工程学院	53	174	8.0	11.0
2	刘志宇	广州大学物理与电子工程学院	20	30	4.0	4.0
3	王坤	广州大学物理与电子工程学院	1	4	1.0	1.0