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Analysis of SOI-MEMS Electrostatic Vibration Energy Harvester
Analysis of SOI-MEMS Electrostatic Vibration Energy Harvester
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摘要：
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MEMS与SOI CMOS单片集成的模拟研究
SOI
半耗尽
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集成化
基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究
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文献信息
| 篇名 | Analysis of SOI-MEMS Electrostatic Vibration Energy Harvester | ||
| 来源期刊 | 通讯和计算机：中英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 振动能量 MEMS 收割机 SOI 静电 电能量采集系统 最大输出功率 制作设备 | ||
| 年，卷（期） | 2012,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 596-601 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TU973.256 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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MEMS
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SOI
静电
电能量采集系统
最大输出功率
制作设备
研究起点
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期刊影响力
通讯和计算机：中英文版
主办单位：
美国大卫出版公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
1548-7709
CN：
开本：
出版地：
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1576
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