基于 PET 的 ITO 薄膜激光刻蚀研究

• 作者: 周苏 黄健
• 来源期刊: 佳木斯大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO PET 皮秒激光 阀值能量密度 能量密度窗口
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 536-539
• 分类号: O484.5
• 字数: 2542字
• 语种: 中文

摘要

使用波长为1064纳米的皮秒激光脉冲从前后两侧对 PET 基体上的 ITO 薄膜进行刻蚀.通过拉曼光谱仪得到光斑的直径找出焦点并计算该处的光束直径与阀值能量密度.而依据白光干涉显微镜得到光斑的深度可以估算能使 ITO 薄膜完全移除但 PET 基体不被破坏的能量密度窗口.实验结果表明,前侧相比后侧具有更小的阀值能量密度和更大的能量密度窗口

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周苏	同济大学汽车学院	73	557	12.0	21.0
2	黄健	同济大学汽车学院	17	230	7.0	15.0