低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析

• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单向敏感性 平面矩形螺旋梁 低g值微惯性开关 微机电系统
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 79-83
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文

摘要

选用典型的弹簧-质量系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关.采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析.分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小.采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备.经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值约为12.26g,具有约±0.2g的闭合精度.当横向惯性加速度小于15g时,对其闭合阈值的影响小于0.5g.测试结果表明,微惯性开关具有较好的单向敏感性,多次测试重复性好,具有体积小、结构简单、加工容易实现、环境适应性好等特点.