微/纳米CVD金刚石涂层的制备

• 作者: 左敦稳 庆振华 张旭辉 徐锋 郑琳 黄美健
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石涂层 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 34-36,48
• 分类号: TG17
• 字数: 2332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2012.03.011

摘要

使用热丝化学气相沉积(HFCVD)装置,在以WC - CO硬质合金为衬底,采用调节涂层生长参数,制备出性能优良的微/纳米金刚石涂层.用SEM,AFM,Raman表征微观结构和表面品质.采用压痕法评估涂层的结合性能,并与微米金刚石涂层、纳米金刚石涂层进行比较.结果显示,当生长气压由3.3 kPa降为1.0 kPa时,底层的微米级晶粒逐渐被上层纳米级晶粒覆盖,并且涂层表面显露出纳米金刚石涂层特性.在结合性能实验中也指出,微/纳米金刚石涂层的结合性能比纳米金刚石涂层要优异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	510	3780	26.0	32.0
2	徐锋	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	85	541	13.0	18.0
3	黄美健	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	2	10	2.0	2.0
4	张旭辉	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	7	22	3.0	4.0
5	郑琳	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	2	8	2.0	2.0
6	庆振华	南京航空航天大学抗疲劳制造与表面工程研究所	3	16	3.0	3.0