射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响

• 作者: 余洲 刘连 张勇 赵勇 闫勇 黄涛 黄稳
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 晶体结构 电学性能
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1553-1555,1560
• 页数: 4页
• 分类号: O48
• 字数: 2002字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,研究了衬底温度及溅射工作压强对沉积薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响.结果显示,随衬底温度增加,薄膜的结晶结构发生显著变化,而溅射工作气压增加主要影响沉积薄膜(103)面与(002)面的相对强度.薄膜的表面形貌受温度影响严重,而气压对形貌的影响相对较小.衬底温度增加,薄膜的电阻率急剧降低,迁移率和载流子浓度都显著增加,而工作气压增加则导致电阻率先减小后增大.