磁控溅射法制备ZrAlYN涂层的结构和性能

• 作者: 杜昊 王辉 范洪远 赵海波 鲜广
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: ZrAlYN 抗塑性变形 抗氧化性 硬度
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 12-17
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.003

摘要

采用磁控溅射技术在YG8硬质合金基体上分别沉积了ZrAlYN涂层和ZrAlN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜以及原子力显微镜研究了Y元素的添加对ZrAlN涂层微观结构、断口和表面形貌的影响,同时对ZrAlYN和ZrAlN涂层的热稳定性和抗高温氧化性能进行了研究；采用纳米压痕技术对ZrAlYN和ZrAlN涂层的力学性能进行了比较.结果表明:Y元素的添加使ZrAlN涂层的微观结构发生了明显变化,从原来的(111)和(200)共同择优取向转变为(200)占主导；ZrAlYN和ZrAlN涂层的断口都呈非柱状结构,且ZrAlYN涂层的表面粗糙度小于ZrAlN涂层的；相比ZrAlN涂层,Y元素的加入使ZrAlYN涂层的热稳定性和抗高温氧化性有显著提高；硬度略有提高,而弹性模量降低,因此硬模比高于ZrAlN涂层,这表明ZrAlYN涂层具有更好的抵抗塑性变形的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范洪远	四川大学制造科学与工程学院	78	463	10.0	17.0
2	王辉	四川大学分析测试中心	52	273	9.0	15.0
3	赵海波	四川大学分析测试中心	26	175	7.0	12.0
4	杜昊	四川大学制造科学与工程学院	7	18	3.0	4.0
5	鲜广	四川大学制造科学与工程学院	26	62	4.0	6.0