直流磁控溅射法在玻璃基片上制备TiN薄膜

• 作者: 单玉桥 毛明旭 王有欣 王英才
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: TiN薄膜 直流反应磁控溅射 透光率 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 61-65
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.02.011

摘要

采用直流反应磁控溅射法在玻璃片上制备了TiN薄膜,研究不同制备工艺条件与薄膜性能之间的关系.用紫外-可见光分光光度计测试了不同沉积时间和N2流量条件下TiN薄膜透光率；用X射线衍射仪分析了不同N2流量和溅射功率条件下TiN薄膜结构；用扫描电镜(SEM)观察了TiN薄膜的表面腐蚀形貌,用恒电位仪对TiN薄膜的耐腐蚀性进行了分析.结果表明:当沉积时间为2 min,N2流量为15 mL/min时,在可见光区有较高的透光率,在近红外区的透光率很低；当N2流量为15 mL/min,溅射功率为4 kW时,TiN薄膜的结晶最致密；当溅射功率为4 kW时,TiN薄膜具有较好的耐腐蚀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单玉桥	东北大学材冶学院	15	62	5.0	7.0
2	王英才	辽宁科技大学机械学院	8	14	2.0	3.0
3	王有欣	辽宁科技大学机械学院	10	24	2.0	4.0
4	毛明旭	辽宁科技大学机械学院	6	15	3.0	3.0