中高压阳极铝箔直流脉冲电蚀工艺及机理研究

• 作者: 刘丹露 王建中 肖仁贵 邹腾
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电解电容器 铝箔 脉冲电流 电化学腐蚀 隧道孔 比容
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TM535
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.09.005

摘要

用直流脉冲电源对高纯铝箔进行电化学侵蚀,研究了影响腐蚀箔性能的工艺参数条件,探索了隧道孔生长机理.结果表明:在硫酸和盐酸电解质体系中,影响腐蚀箔性能的工艺参数有直流脉冲电流密度、脉冲频率、占空比以及脉冲时间等；控制直流脉冲的电流密度峰值在0.8 A/cm2以上、脉冲电流单次通电延续时间在0.53 ms左右,能使铝箔产生纵横交错的隧道孔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹腾	贵州大学化学与化工学院	2	14	2.0	2.0
2	刘丹露	贵州大学化学与化工学院	4	26	4.0	4.0