退火气氛对AZO薄膜电学性能的影响

• 作者: 孙超群 屈少华 王今朝 章天金
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 退火气氛 电学性能
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TB34

摘要

本文简述了运用磁控溅射的方法制备Al掺杂的ZnO薄膜，并运用退火工艺对薄膜进行处理，研究不同退火气氛对薄膜电学性能的影响，结合相关的文献以及相关机理对所得结果进行分析和研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屈少华	湖北文理学院物理与电子工程学院	21	31	3.0	5.0
2	王今朝	湖北文理学院物理与电子工程学院	2	1	1.0	1.0
3	孙超群	湖北文理学院物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
4	章天金	湖北文理学院物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0