等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究

• 作者: 刘海峰 唐德礼 杨发展 沈丽如 王世庆 金凡亚
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 脉冲辉光放电 类金刚石膜 Raman光谱 X-射线光电子能谱
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 441-447
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.017802

摘要

利用脉冲辉光放电的方法,在硅片上采用不同的沉积工艺制备了含氢类金刚石膜层,并采用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)对膜层进行表征.用Raman光谱仪在波长为325 nm的紫外光源的激励下观察膜层的键结构.紫外Raman光谱对含氢类金刚石膜是非常有用的,它能有效避免可见光Raman光谱测量时的荧光干扰,清晰地得到膜层的D峰和G峰.同时利用XPS分析得到膜层的sp3键含量,并与Raman光谱所得数据进行比较.通过Raman光谱和XPS分析可以发现,在紫外光源的激励下,膜层的G峰峰位向高频移方向移动,G峰峰位、I(D)/I(G),G峰半高宽和sp3键含量之间存在一定的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金凡亚		57	226	8.0	12.0
2	王世庆		37	136	7.0	9.0
4	唐德礼		35	180	7.0	12.0
5	沈丽如		52	377	11.0	16.0
8	杨发展		10	57	5.0	7.0
10	刘海峰		4	13	2.0	3.0