硅微谐振加速度计高精度相位闭环控制系统设计与实现

• 作者: 张玲 王岩 邢朝洋
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微谐振加速度计 相位闭环 三阶无静差 误差分析
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性仪表研究与设计
• 页码范围: 688-692
• 页数: 5页
• 分类号: U666.1
• 字数: 3976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2014.05.025

摘要

硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力，成为硅微惯性传感器研制的热点之一。高精度相位闭环控制系统是决定硅微谐振加速度计精度水平的重要因素。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上，从闭环控制系统设计的角度，分析了相位闭环控制回路的原理，提出了一种可以消除匀加速误差的高精度三阶无静差相位闭环控制方案。给出了设计思路，研究了环路性能测试方法，讨论了闭环系统相位误差的来源与抑制方法。所设计的闭环回路在0.1 Hz处静态增益为170 dB，启动时间小于20 ms，实测带宽为432 Hz，全温范围内相位闭环回路相差变化0.84°，系统参数满足设计指标。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢朝洋		19	43	3.0	5.0
2	王岩		11	34	3.0	5.0
3	张玲		10	32	3.0	5.0