沉积温度对ZnO薄膜结构形貌及光学性能的影响

• 作者: 刘敬肖 刘贵山 姜妍彦 胡志强 阮鑫栋
• 来源期刊: 大连工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 超声喷雾法 沉积温度
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 纺织与材料工程
• 页码范围: 210-213
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文

摘要

以Zn(NO3)2·6H2O为前驱体,采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外光谱仪(UVS)等对所得ZnO薄膜进行表征,研究了沉积温度对ZnO薄膜的结构、微观形貌及光学性能的影响.结果表明,沉积温度为500℃时所制备的薄膜质量最佳,形成的是六角纤锌矿ZnO结构,且薄膜沿(002)晶面择优取向生长显著,薄膜表面光滑致密,晶粒细小均匀,尺寸在50～60 nm.薄膜表现出良好的光学性能,可见光透过率可达87％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敬肖		45	175	9.0	11.0
2	胡志强		67	242	8.0	11.0
3	姜妍彦		22	154	7.0	12.0
4	刘贵山		48	121	6.0	9.0
5	阮鑫栋		3	2	1.0	1.0