提高光刻胶陡直度的方法

• 作者: 于航
• 来源期刊: 长春师范学院学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻胶 陡直度 剖面
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 28-32
• 页数: 5页
• 分类号: TN405

摘要

光刻是利用光化学反应将临时电路图形从掩膜版转移到光刻胶膜上的工艺。影响光刻质量的因素包含光源、掩膜版与光刻胶三部分。其中,掩膜版与光源（光刻机）在日常生产中视为固定不变的因素。相比较而言,光刻胶受曝光条件、显影条件、烘干条件等诸多因素的影响,其性质会有明显变化。本文就光刻胶膜的陡直度（以下简称＂陡直度＂）进行了一系列研究和实验,其最终目的是找到现有条件下提高光刻线条陡直度的方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于航		5	7	2.0	2.0