直拉法硅单晶中石英坩埚析晶问题的探讨

• 作者: 张波 罗晓斌 辛玉龙
• 来源期刊: 河南科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 直拉法 石英坩埚 析晶
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 工程与材料科学
• 页码范围: 64
• 页数: 1页
• 分类号: O78
• 字数: 1750字
• 语种: 中文

摘要

直拉法硅单晶生长过程中,由于杂质的带入常会导致石英坩埚发生析晶现象,严重影响单晶硅棒的拉制.为了分析该现象,本文借助于石英析晶的机理,探讨了石英坩埚发生析晶现象的具体原因与应对措施.影响直拉法石英坩埚发生析晶的因素包括操作规范、坩埚质量及外界因素等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波		16	20	3.0	4.0
2	罗晓斌		6	9	1.0	3.0
3	辛玉龙		7	2	1.0	1.0