直拉硅单晶中氧的轴向均匀性控制

• 作者: 徐明生 杨德仁 田达晰 阙端麟
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 氧 杂质
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 105-109
• 页数: 5页
• 分类号: O782|TN304
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2000.03.025

摘要

本文从气氛、热场、坩锅材料、埚位、埚转、晶转、变参数拉晶等几个方面论述了CZ硅单晶初始氧浓度和氧的轴向均匀性的控制方法,着重研究了变参数拉晶对氧的轴向均匀性控制的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	阙端麟	浙江大学硅材料国家重点实验室	72	612	13.0	20.0
3	徐明生	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	55	2.0	7.0
4	田达晰	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	31	3.0	5.0