LaBaCo2O5+δ薄膜的电输运及氧敏性质研究

• 作者: 张胤 林媛 洪敦华 高敏 黄振龙
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 高分子辅助沉积法 LBCO 小极化子 电输运性质 氧敏性质
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 4019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2014.12.009

摘要

采用高分子辅助沉积法制备了Si基LaBaCo2O5+δ( LBCO)薄膜，主要研究了Si基LBCO薄膜的电输运性质及氧敏性质。通过对LBCO薄膜的电输运性质研究，发现LaBaCo2O5+δ薄膜的激活能Ea为0.32 eV，远小于同类体材料PrBaCo2O5+δ激活能(Ea=0.67 eV)，说明将材料薄膜化以后，有利于降低材料的激活能；此外，LBCO薄膜阻-温曲线满足小极化子热激化跳跃理论，证明该材料的导电机制是小极化子电子电导。氧敏性质研究发现，在较低的温度356℃下，当测试气体从氢气切换到氧气时，薄膜电阻从3×105Ω迅速下降到4.5×102Ω(ΔR≈3.0×105Ω)，响应时间为4.2 s，说明在较低温度下，LBCO薄膜对氧气具有较高的敏感度。同时，发现LBCO薄膜材料导电能力并不与氧气的浓度成正比。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪敦华	电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室	4	4	1.0	1.0
2	高敏	电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室	13	6	2.0	2.0
3	张胤	电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室	10	8	2.0	2.0
4	黄振龙	电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0