电弧离子镀中真空电弧稳定性控制方法

• 作者: 严鹏 唐勇 李争显 杜继红 杨涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 真空电弧 稳定性 控制方法
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.06.09

摘要

电弧离子镀技术中真空电弧的工作稳定性对于制备高质量的涂层至关重要。本研究通过在一系列工艺条件下开展电弧离子镀镀膜实验，研究和分析了电弧离子镀中磁场、靶面污染物、靶面温度、靶面尺寸和形貌、维弧电流以及工作气体种类和压力对真空电弧稳定性的影响，从而得出了提高电弧稳定性的控制方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李争显	西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所	169	1281	19.0	26.0
2	杜继红	西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所	102	955	17.0	24.0
3	严鹏	西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所	21	127	7.0	10.0
4	唐勇	西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所	15	149	6.0	12.0
5	杨涛	西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所	9	12	2.0	3.0