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电弧离子镀中真空电弧稳定性控制方法
电弧离子镀中真空电弧稳定性控制方法
作者:
严鹏
唐勇
李争显
杜继红
杨涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电弧离子镀
真空电弧
稳定性
控制方法
摘要:
电弧离子镀技术中真空电弧的工作稳定性对于制备高质量的涂层至关重要。本研究通过在一系列工艺条件下开展电弧离子镀镀膜实验,研究和分析了电弧离子镀中磁场、靶面污染物、靶面温度、靶面尺寸和形貌、维弧电流以及工作气体种类和压力对真空电弧稳定性的影响,从而得出了提高电弧稳定性的控制方法。
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AlYSi涂层
高温氧化
电弧离子镀
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文献信息
篇名
电弧离子镀中真空电弧稳定性控制方法
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
电弧离子镀
真空电弧
稳定性
控制方法
年,卷(期)
2015,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
38-41
页数
4页
分类号
TB43
字数
3479字
语种
中文
DOI
10.13385/j.cnki.vacuum.2015.06.09
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李争显
西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所
169
1281
19.0
26.0
2
杜继红
西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所
102
955
17.0
24.0
3
严鹏
西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所
21
127
7.0
10.0
4
唐勇
西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所
15
149
6.0
12.0
5
杨涛
西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所
9
12
2.0
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2019(1)
引证文献(0)
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节点文献
电弧离子镀
真空电弧
稳定性
控制方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
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