模拟计算优化SnO2纳米半导体薄膜的光学性能

• 作者: 刘荷花
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: SnO2薄膜 模拟计算 光学模拟 化学气相沉积 F掺杂 性能优化
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 74-75
• 页数: 2页
• 字数: 1707字
• 语种: 中文

摘要

针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO 2薄膜，建立了计算模型，研究了SnO 2薄膜的反射光谱性质，计算出相关的光学参数。结果表明：振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO 2薄膜光学性能，可通过改变膜层厚度的方法对F掺杂SnO 2薄膜光学性能进行模拟优化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘荷花		10	19	2.0	4.0